新天地娱乐

欢迎访问成都鑫南光机械设备有限公司官方网站!

成都鑫南光机械设备有限公司

二十年专业品质 通过ISO9001质量体系认证

立即咨询

24小时咨询热线:
13908187709
查看大图 加入收藏夹 我要评价 告诉朋友
G-43D6型高精密单面光刻机

简介—— 一 、设备概述:G—43D6型光刻机是根据市场需求研发的产品,可以做Φ6"以下基片,对被光刻基片的外形、厚度要求较低,可

联系电话:1390818770913908187709
马上订购 立即咨询

详情内容/ Content details

手机扫一扫


一 、设备概述:

G—43D6型光刻机是根据市场需求研发的产品,可以做Φ6"以下基片,对被光刻基片的外形、厚度要求较低,可对多种材料的基片进行光刻。它特别适用进行一次光刻的产品,可制作声表面器件、可控硅、小液晶显示器、传感器、二极管、园光栅、编码盘等。按用户要求可提供圆形承片台或方形承片台,不管哪一种承片台,如果基片厚度≤2mm,承片台都能实现“真空密着”曝光,加之光均匀性好,所以大大提高光刻质量。


二、主要技术参数:

1. 操作方式:手动。

2. 曝光模式:接触式曝光。

3. 曝光面积:Φ6"。

4. 紫外光源:365nm。

5. 实现“真空密着”曝光,但基片厚度≤2mm。

6. 分辨率:2um

7、光的不均匀性:≤±3.5%;

8. 样品尺寸:Φ150mm。



三、结构简介:

G—43D6型光刻机主要由以下部份组成:

1、采用6寸LED曝光头:

(1)曝光原理:

UV-LED紫外灯发出大量紫外线光,经专用光学系统,形成均匀照明。

(2)照度不均匀性的测量及计算:

不均匀性用紫外检测计测量(UV-A型紫外辐照计)

E最大 - E最小

U = ±────────×100%

E最大 + E最小

测量5点或9点(如右图)

(3)曝光时间的控制

本机设有进口时间继电器,可进行0.1~999.9秒曝光时间的预选。

2、电器控制系统:

打开电源开关(面板上标“电源”开关),灯亮,气压表显示数值。

1) 此时检查左表板上的“系统真空”表,看是否保持真空度≥-0.07MPa以上,否则要检查漏气原因并消除之。

2) 打开UV-LED紫外灯(UV-LED紫外灯的操作见UV-LED紫外灯平行光光源使用说明书)。

3) 转动曝光头,使曝光头平行于操作者,打开板架压紧,翻起板架。

4) 按下“吸片”按钮,“吸片”指示熄灭,放基片到相应承片台上(注意放基片的位置和方向),定好位后,再按“吸片”按钮,“吸片”指示灯亮,吸片完成。

5) 按下“吸板”按钮,“吸板”指示熄灭,放掩膜版到相应板架上(注意放掩膜版的位置和方向),定好位后,再按“吸板”按钮,“吸板”指示灯亮,吸板完成。

6) 翻下板架,转动板架压紧块,锁紧板架

7) 拨动旋钮,指向“片升”,基片上升,调节气缸上的定位螺钉,可以控制基片和掩膜版之间的间隙。

8) 按下“密着”按钮,“密着”指示灯亮,调整密着真空大小,使版、片在大气压作用下紧密贴合好。

9) 转动曝光头,使曝光头正对操作者,也就是使曝光头在板架正上方。

10) 调整好你所需的曝光时间,按下“曝光”按钮,“曝光”指示灯亮,进行曝光。

11) “曝光”指示熄灭,曝光结束。

12) 拨动旋钮,指向“片降”,基片下降。

13) 转动曝光头,使曝光头平行于操作者,打开板架压紧,翻起板架。

14) 按下“吸片”按钮,“吸片”指示熄灭,取下基片,曝光完成。




【返回列表】

【推荐阅读】↓

【本文标签】:

在线留言

message
扫一扫更精彩扫一扫更精彩
  • 联系人:刘经理
  • 联系电话:13908187709
  • 座机:028-85730589
  • 400电话:13908187709
  • 邮箱:15390063681@qq.com
  • 地址:成都市蛟龙工业港双流园区渤海路36号(3座)
在线客服

如果您对此产品感兴趣! 请直接联系成都鑫南光机械设备有限公司!

提交留言 立即咨询

相关推荐

HOT RECOMMEND

快速通道 Express Lane

咨询热线

1390818770913908187709

邮箱:15390063681@qq.com

QQ:15390063681

鑫南光咨询服务热线:
13908187709

立即在线咨询预约

扫一扫有惊喜哦

二维码
地址:成都市蛟龙工业港双流园区渤海路36号(3座)
凤凰彩票网娱乐开户habitsavvy.com版权所有:

成都鑫南光机械设备有限公司

备案号: 蜀ICP备12015633号-3

网站地图 RSS XML  四川|成都|德阳|绵阳|
联系人:刘经理 电话:028-85730589      技术支持:动力无限 万家灯火
  全国服务热线:13908187709  邮箱:15390063681@qq.com
成都鑫南光机械设备有限公司主要从事四川光刻机 四川氢气炉 四川真空泵 的产品,欢迎前来咨询!
在线咨询
  • QQ咨询
在线留言
客服电话
扫一扫
成都鑫南光机械设备有限公司

扫一扫
进入手机网站

全国服务热线
13908187709

返回顶部
友情链接:凤凰彩票计划聊天室  老凤凰彩票  凤凰彩票平台  凤凰彩票平台官网  凤凰彩票官网  凤凰彩票购彩平台  新凤凰彩票骗局  新凤凰彩票官网  

免责声明: 本站资料及图片来源互联网文章,本网不承担任何由内容信息所引起的争议和法律责任。所有作品版权归原创作者所有,与本站立场无关,如用户分享不慎侵犯了您的权益,请联系我们告知,我们将做删除处理!