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G-43B型高精密单面光刻机

简介—— 一、概述:G—43B型光刻机是根据市场需求研发的产品,其最大的特点是曝光面积极大,通常情况下为Φ8",对被光刻基片的外形

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一、概述:

G—43B型光刻机是根据市场需求研发的产品,其最大的特点是曝光面积极大,通常情况下为Φ8",对被光刻基片的外形、厚度要求较低,可对多种材料的基片进行光刻,它特别适用一次光刻的产品,可制作声表面器件、可控硅、小液晶显示器、传感器、二极管、园光栅、编码盘等,按用户要求可提供圆形承片台或方形承片台,不管哪一种承片台,如果基片厚度≤1mm,我公司为本机配置标准承片台(不另计费),当基片厚度>1mm时,设备需配置专用承片台(订货时用户须说明,费用另议)。

二、主要技术指标:

1. 适用于直径是7英寸(含7英寸)以下,只需要一次曝光的各种基片进行曝光,基片厚度要求:0~5mm。

2. 曝光面积Φ8"。

3. 实现“真空密着”曝光,(通过调整真空度能实现硬接触、软接触或微力接触曝光),基片厚度:0~5mm。

4. 曝光最小分辨率为5μm。

5. 可以为用户制作具有预定位机构的专用承片台,片对版的预定位精度≤±0.1mm。

6. 乙方提供基片夹具: 6"、7"。

7. 曝光头用灯为GCQ350W型超高压直流球形汞灯,光强≤3.5mw/cm2,光的不均匀性在Φ180mm范围内≤±6.5%。

可以通过调节承片台相对于曝光头距离来实现恒光强曝光。也可以通过调节直流汞灯电流大小来改变光强。

三、设备结构:

G—43B型光刻机主要由以下部份组成:

1、多点光源曝光头:

曝光灯采用GCQ350W型超高压直流球形汞灯,这种汞灯的优点是近紫外线3650 ,4047,4385 相当丰富,用365测头测量,显示光强可达3.5mw/cm2以下,非常有利于光刻,光的均匀性很好,不均匀性测量在Φ180mm范围内≤±6.5%,冷却方式为风冷(内装排风扇)。

在该机底座上装有进口的欧姆龙时间继电器,0~999.9秒内控制曝光快门。

汞灯X、Y、Z调中装置设在曝光头上面,以便用户进行光强度和光均匀性调节。

汞灯随使用时间增长而逐渐老化,照度逐渐降低,用户可改变承片台高度,而保持恒光强,也可改变汞灯电流大小保持恒光强。

2、电器控制系统:

1) 打开电源开关(面板上标“电源”开关)。此时汞灯自然打开,指示汞灯亮。接上真空源,快门被关上。待汞灯亮度正常后(一般需要15分钟以上),可以进行如下操作。

2) 放基片到任一承片台上(注意放基片的位置和方向),按与该承片台相应的按钮进行“真空吸片”,然后放掩膜版到基片上(当然也要注意版放的位置和方向),按相应的真空“密着”按钮。调整密着真空大小。使版、片在大气压作用下紧密贴合好。然后将承片台放到可以升降的台上。调整好你所需的曝光时间,按“曝光”按钮进行曝光。



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