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G-31B4型高精密双面光刻机

简介—— 一、主要用途主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路、电力电子器件的研制和生产。二、主

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一、主要用途

主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路、电力电子器件的研制和生产。

二、主要性能指标:

曝光类型:版版对准双面曝光

曝光面积:≥φ100mm

曝光不均匀性:≤±3%

曝光强度:≥5mw/cm2

曝光分辨率:2μm

曝光模式:双面同时曝光

对准精度:±0.5μm

对准范围:X:±5mm Y:±5mm

套刻精度:1μm

旋转范围:Q向旋转调节≤±5°

显微系统:双视场CCD系统,物镜1.6X~10X,计算机图像处理系统,19″液晶监视器;

掩模版尺寸:能真空吸附4"方形掩板,对版的厚度无特殊要求(1~3mm皆可)。

基片尺寸:适用于Φ3"mm圆形基片(或3"×3"mm方形基片),基片厚度≤5mm,当您的基片厚度≤1mm时,我公司为本机配置标准承片台(不另计费),当基片厚度>1mm时,设备需配置专用承片台(订货时用户须说明,费用另议)。

1、有三种版夹盘供选择,能真空吸附5"×5"或4"×4",3"×3"方形掩膜版,版的厚度无特殊要求1.5-3mm皆可。分别用于4"或3"(或2")基片的曝光。基片厚度0.1-3mm都可以。(订货时,用户应说明订那一种?)

2、曝光:

(1)光源采用GCQ350型超高压球形汞灯。

(2)照明范围:≤φ117mm

(3)光的不均匀性:φ100mm范围内:±5%

(4)可使用的波长:G线、H线、I线的组合。(即3500-5000埃)

(5)成像面照明:使用UV-A型表测量,光照度≤5毫瓦/厘米2左右(采用

365°测头测量),光学结构原理为16面反射式多点光源。

3、采用进口(SMC)时间继电器(该继电器可从0.1秒-999.9秒内任意设定)控制“真空快门”,动作准确可靠。

4、该机为双面接触式曝光机,该机特制的翻版机构,能消除基片楔形误差,保证上下二块掩膜版对基片上下两面良好的接触,从而保证基片上下两面的曝光质量。

5、分辨率估量:如果用户的“版”、“片”精度符合国家规定、环境、温度、湿度以及房间净化得到严格控制,采用进口“正性”光刻胶,且匀胶厚度和均匀度也得到严格控制的话,本机曝光最小分辨可达0.002mm,建议使用在≥0.003mm以上。

6、对准:

A、 两个单视场变倍显微镜加二个CCD摄像机加19"监视器。

1)二个单视场变倍显微镜的变倍范围1.6X-10X.

2)二个CCD摄像头:平面对角线尺为1/3"。

3)采用19"液晶监视器,其数字放大倍率为19÷1/3=57倍;

观察系统放大倍数为:1.6×57≈91倍(最小倍数),10×57≈570倍(最大倍数)。

B、对准台

首先真空吸附下掩版(注意掩版四个边,平行于真空吸附下掩版的装置四个边),然后将上掩版放在下掩版上,转动曝光头位置,使两个单视场显微镜对准上掩版,调好左右两个显微镜的焦距,从监视屏上看清两个图像,调整下掩版X、Y和Q转动,使上掩版上的图像或标记线显视到监视器屏的左右分开的中间位置,然后真空吸附上掩版。上掩版一旦吸附后,再也不能移动。通过下掩版进行X、Y和Q移动后,实现上下掩版的对准工作。

上下掩版的对准精度≤±0.001mm。

该机的主要优点是,有一个上掩版相对于下掩版的翻转机构,该机构翻转角度≥90,甚至可达180,不仅便于上下基片,而且能保证上下掩版对应基片上下面的良好接触(能补偿基片的楔形误差),又能保证上下掩版对准了的图形重合到原来位置,其误差≤5μm。

这一点很重要,也就是说上下掩版对准后,不管怎么翻动,怎样上下基片,上下掩版的图形仍然是对准的!这对大批量生产的厂家来说很重要,只要上下掩版对准后,你就可以不断地对基片进行双面曝光,曝光若干片以后,你如果想观察上下掩版是否仍然对准的,你只要转动曝光头,使显微镜对准版,你就能在监视器上看见,两个版的对准情况。

X、Y调整范围±4mm

Q转角≤±5

7、设备所需能源:

主机电源220V   50HZ   功耗≤1.5KW

配有一台真空泵,真空泵电源220V

8、尺寸和重量:

尺寸:1200(长)×720(宽)×1500(高)

重量≤170kg

机体放在专用工作台上

9、双面对准曝光机的组成

A、 主机

1)主机(含机体和工作台)

2)机体上安装二台单视场可变倍数显微镜,二台CCD摄像头,一台19"监视器,一套很有特色的上下翻版装置,二个16面反射镜式高均匀性曝光头。

B、 附件:

a. 主机附件:(出厂时安装到机器上)

(1)  5"□型掩版夹盘。

b. 显微镜组成

(1) 单筒显微镜二个

(2) 两个CCD

(3) 视频连接线。

(4) 计算机和19"液晶监视器。




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