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G-26A型高精密单面光刻机

简介—— 鑫南光小编为大家介绍G-26A型高精密光刻机产品介绍:一、 设备的主要用途及特点本设备主要适用于对Φ150mm以下,厚度

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四川光刻机


鑫南光小编为大家介绍G-26A型高精密光刻机产品介绍:

一、 设备的主要用途及特点

本设备主要适用于对Φ150mm以下,厚度为5mm以下的各种基片光刻(包括非常规基片、碎片及表面不平整基片)

二、主要技术参数:

1、 适用于Φ6"、Φ5"、Φ4"基片,基片厚度0~5mm均可。

2、 采用多点光源曝光头,最大输出光束≥Φ160mm;光束不均匀性≤±7%,(Φ150mm范围内)。

3、 光源采用350W直流汞灯。

4、 版、片对准精度±0.5μm。

5、 采用片动、版不动的对准方式以及三点找平机构。

6、 扫描观察范围:±15mm。

7、采用双目视场显微镜,放大倍数50X~375X。也可采用双CCD加液晶监视器来显示,放大倍数30X~189X或67.5X~420X。

8、 采用时间继电器(可从0.1秒~999.9秒预设)控制曝光头的气动快门,以实现曝光时间的自动控制。

9、能实现硬接触曝光、软接触曝光及微力接触曝光。

10、电控采用PLC控制,各主要元器件(如电磁阀)均采用进口品牌件。

希望以上关于四川光刻机的信息可以直接拨打网站上的咨询电话和我们取得联系。

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