新天地娱乐

欢迎访问成都鑫南光机械设备有限公司官方网站!

成都鑫南光机械设备有限公司

二十年专业品质 通过ISO9001质量体系认证

立即咨询

24小时咨询热线:
13908187709
查看大图 加入收藏夹 我要评价 告诉朋友
成都精密光刻机

简介—— 成都精密光刻机的主要用途和主要性能指标:1、 主要用途:(1) 这是一台双面对准单面曝光的光刻机;(2) 这台机器又能完

联系电话:1390818770913908187709
马上订购 立即咨询

详情内容/ Content details

手机扫一扫

成都精密光刻机


成都精密光刻机的主要用途和主要性能指标:

1、 主要用途:

(1) 这是一台双面对准单面曝光的光刻机

(2) 这台机器又能完成普通光刻机的任何工作;

(3) 同时又是一台检查双面对准精度的检查仪。

2、 主要性能指标:

(1) 高均匀性蝇眼曝光头。

a、 采用350W直流球形汞灯;

b、 出射光斑≤φ116mm;

c、 光强≤15mw;

d、 光的不均匀性≤±3%;

e、 光强度可通过光阑或汞灯电流调节,3~15mw任意调节;

f、 曝光时间采用0~999.9秒(日本OMRON生产)时间继电器控制。

g、 对准精度:±0.5μm

h、 套刻精度:1μm

(2) 观察系统为上下各两个无级变倍、高分辨率单筒显微镜上装四个CCD摄像头通过视屏线连接计算机到19″高清液晶显视屏上。

a、 单筒显微镜为0.7X~4.5X连续变倍显微镜;

b、 CCD摄像机靶面对角线尺寸为:1/3″,6mm;

c、 采用19″液晶监视器,其数字放大倍率为17×25.4/6=72倍;

d、 观察系统放大倍数为:0.7×72=50.4倍(最小倍数)

4.5×72=324倍(最大倍数);

e、右表板上有一视屏转换开关:向左为下二个CCD,向右为上二个CCD。

(3)计算机硬软件系统:

a、鼠标单击“开始对准”,能将监视屏上的图形记忆下来,并处理成透明的,以便对新进入的图形进行对准;

b、鼠标双击左面或右面图形,就分别全屏显示左或右面图形。

(4)非常特殊的板架装置:

a、该装置能分别装入100×100板架或125×125板架,对版进行真空吸附;

b、该装置安装在机座上,能围绕A点作翻转运动,相对于承片台而言作上下翻转运动,以便于上下版和上下片;

c、该装置来回反复翻转,回到承片台上平面的位置,重复精度为≤±1.5;

d、该装置具有补偿基片楔形误差之功能,保证版下平面与片上平面之良好接触,以便提高曝光质量。

(5)承片台调整装置:

a、 配备有Φ75、Φ100承片台各一个,这二种承片台有二个长方孔,下面二个CCD通过该孔能观察到版或片的下平面;

b、 承片台能作X、Y、Z、θ运动,X、Y、Z可作±5mm运动,θ运动为±5°;

c、 承片台密着环相对于版,能实现“真空密着”:

真空密着力≤-0.05Mpa为硬接触;

真空密着力≤-0.05Mpa~-0.02Mpa为软接触;

真空密着力≤-0.02Mpa为微力接触;

四川精密光刻机

还有更多关于成都精密光刻机的信息请持续关注鑫南光官网信息更新。


在线留言

message
扫一扫更精彩扫一扫更精彩
  • 联系人:刘经理
  • 联系电话:13908187709
  • 座机:028-85730519
  • 400电话:13908187709
  • 邮箱:15390063681@qq.com
  • 地址:成都市蛟龙工业港双流园区渤海路36号(3座)
在线客服

如果您对此产品感兴趣! 请直接联系成都鑫南光机械设备有限公司!

提交留言 立即咨询

相关推荐

HOT RECOMMEND
  • P2型高真空排气台

    P2型高真空排气台介绍:一、 本设备用于真空器件的排气处理。二、 主要技术指标:1、 最高温度:500℃。2、 工作温度…

    了解详情
  • G-33型高精密双面光刻机

    四川光刻机之G-33型:一、 设备的主要用途本设备主要适用于电力电子器件、机车电子器件、传感器件、石英晶体振荡器、混合电…

    了解详情
  • G-25型高精密单面光刻机

    鑫南光小编为大家介绍四川光刻机信息:一、G-25型光刻机的主要用途本设备广泛应用于进行批量生产的各大、中、小型企业,它主…

    了解详情
  • G-25X型高精密单面光刻机

    G—25X型精密光刻机主要技术指标一、主要用途 本设备是我公司针对各大专院校及科研单位对光刻机的使用特性专门研发的一种精…

    了解详情
  • G-25XA型高精密单面光刻机

    关于G-25XA型精密光刻机产品介绍:一、主要用途: 本设备是我公司专门针对各大专院校及科研单位对光刻机的使用特性研发的…

    了解详情

快速通道 Express Lane

咨询热线

1390818770913908187709

邮箱:15390063681@qq.com

QQ:15390063681

鑫南光咨询服务热线:
13908187709

立即在线咨询预约

扫一扫有惊喜哦

二维码
地址:成都市蛟龙工业港双流园区渤海路36号(3座)
凤凰彩票网娱乐开户habitsavvy.com版权所有:

成都鑫南光机械设备有限公司

备案号: 蜀ICP备12015633号-3

网站地图 RSS XML  四川|成都|德阳|绵阳|四川|成都|德阳|绵阳|
联系人:刘经理 电话:028-85730519      技术支持:动力无限 万家灯火
  全国服务热线:13908187709  邮箱:15390063681@qq.com
成都鑫南光机械设备有限公司主要从事四川光刻机 四川氢气炉 四川真空泵 的产品,欢迎前来咨询!
在线咨询
  • QQ咨询
在线留言
客服电话
扫一扫
成都鑫南光机械设备有限公司

扫一扫
进入手机网站

全国服务热线
13908187709

返回顶部
友情链接:凤凰彩票开户  凤凰彩票  凤凰彩票正规吗  凤凰彩票的骗局!  凤凰彩票挂机软件  凤凰彩票平台客户端  凤凰彩票  凤凰彩票官网  

免责声明: 本站资料及图片来源互联网文章,本网不承担任何由内容信息所引起的争议和法律责任。所有作品版权归原创作者所有,与本站立场无关,如用户分享不慎侵犯了您的权益,请联系我们告知,我们将做删除处理!